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電子無塵車間的物理凈化方式

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電子無塵車間的物理凈化方式

發布日期:2016-12-13 18:21 來源:http://www.jiujuhb.com 點擊:

1.吸附性過濾—活性炭 活性炭是一種多孔性的含炭物質, 它具有高度發達的孔隙構造, 活性炭的多孔結構為其提供了大量的表面積,能與氣體(雜質)充分接觸,從而賦予了活性炭所特有的吸附性能,使其非常容易達到吸收收集雜質的目的。就象磁力一樣,所有的分子之間都具有相互引力 缺點:普通活性炭并不能吸附所以的有毒氣體,效率較低、易脫附。

2.機械性過濾—HEPA網,中文意思為高效空氣過濾器,達到HEPA標準的過濾網,對于0.3微米的有效率達到99.998%,HEPA網的特點是空氣可以通過,但細小的微粒卻無法通過。HEPA過濾網由一疊連續前后折疊的亞玻璃纖維膜構成,形成波浪狀墊片用來放置和支撐過濾界質。

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間

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